晶盛机电(300316.SZ)：8英寸单片式碳化硅外延设备可兼容6、8寸碳化硅外延生产

来源：格隆汇

格隆汇7月12日丨晶盛机电(300316.SZ)于2023年7月11日-12日接受机构调研，交流环节中，就“请问公司8英寸碳化硅外延设备是否能够兼容6英寸碳化硅外延生产？”

公司回复称，8英寸单片式碳化硅外延设备可兼容6、8寸碳化硅外延生产，在6英寸外延设备原有的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上，解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题，实现了成熟稳定的8英寸碳化硅外延工艺。